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石墨烯层数或可控

发布日期:2019-09-16 作者: 点击:

众所周知,石墨烯是单层的二维碳原子结构。石墨烯哪家好,单层的石墨烯性能,用途。然而,在某些应用研发方面,单层的石墨烯却并不能要求。特定层数的石墨烯成为有关研究人员的追求目标。因此,石墨烯层数控制早已经成为一项热门研究。然而对这一目标的研究却鲜有进展。近期,上海微系统与信息研究所信息功能材料重点实验室SOI材料课题组在层数可控石墨烯薄膜制备方面取得新进展。课题组设计了Ni/Cu体系,并利用离子注入引入碳源,通过控制注入碳的剂量,成功实现了对石墨烯层数的调控。石墨烯纤维


石墨烯纤维


上海微系统所SOI材料课题组围绕石墨烯层数控制问题,结合Ni和Cu在CVD法中制备石 墨烯的特点,利用两种材料对碳溶解能力的不同,设计了Ni/Cu体系(即在25 μm厚的Cu箔上电子束蒸发一层3 nm的Ni ),并利用半导体产业中成熟的离子注入将碳离子注入到Ni/Cu体系中的Ni层中,通过控制注入碳离子的剂量(即4E15 atms/cm2剂量对应单层石墨烯,8E15 atoms/cm2剂量对应双层石墨烯),经退火后成功实现了单、双层石墨烯的制备。


离子注入是指把掺杂剂的原子引入固体中的一种材料改性方法。简单地说,离子注入的过程,就是在真空系统中,用经过加速的,要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料,从而在所选择的区域形成一个具有性质的表面层(注入层)。与传统的CVD制备石墨烯工艺相比,离子注入具有低温掺杂、的能量和剂量控制和高均匀性等优点,采用离子注入法制备石墨烯单双层数受碳注入剂量的影响,与气体的体积比、衬底厚度以及生长温度无关。此外,离子注入与现代半导体相兼容,有助于实现石墨烯作为电子材料在半导体器件领域真正的应用。


本文网址:http://www.hysmx.com/news/459.html

关键词:石墨烯哪家好,石墨烯膏体,石墨烯功能性母粒

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